申请/专利权人:济南智和弘盛光电科技有限公司
申请日:2023-08-24
公开(公告)日:2024-03-15
公开(公告)号:CN220592795U
主分类号:B24B57/02
分类号:B24B57/02;B24B57/00;B24B49/00;B24B13/00
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.03.15#授权
摘要:本实用新型涉及抛光技术领域,具体为一种用于易潮解晶体的抛光液循环系统。包括滤除水机构、循环抛光液罐体、搅拌机构、超声机构、电导率检测机构、输液泵和电子控制机构,所述过滤除水机构、循环抛光液罐体和输液泵依次通过管道连接并连通,所述搅拌机构设置在循环抛光液罐体上,所述电导率检测机构设置在管道上。通过简单的电导率检测机构,从而能够对循环的各阶段的抛光液进行有效检测,从而方便判断循环在各阶段的抛光液的质量,有利于保证对易潮解晶体的抛光质量。
主权项:1.一种用于易潮解晶体的抛光液循环系统,包括过滤除水机构、循环抛光液罐体、搅拌机构、超声机构、电导率检测机构、输液泵和电子控制机构,其特征在于:所述过滤除水机构、循环抛光液罐体和输液泵依次通过管道连接并连通,所述搅拌机构设置在循环抛光液罐体上,所述电导率检测机构设置在管道上。
全文数据:
权利要求:
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