申请/专利权人：海纳半导体(山西)有限公司

申请日：2023-12-21

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117721535A

主分类号：C30B29/06

分类号：C30B29/06;C30B15/00;C30B15/20

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要：本发明涉及单晶炉冷却技术领域，具体为一种单晶炉冷却水循环系统，包括常规冷却水循环系统，所述常规冷却水循环系统的外侧增设冷冻水循环系统，所述冷冻水循环系统由一个冷冻水池、两台水泵、两台冷冻机、一个水温传感器、一套远程水温控制系统、三个流量计和若干个阀门组成，所述冷冻水循环系统设置有第一线路和第二线路，所述第一线路和第二线路之间可通过一个阀门连通。该单晶炉冷却水循环系统中，通过设计了一套可独立控制单晶炉炉盖循环冷却水温度的冷冻水循环系统，能够通过降低炉盖循环冷却水的温度来增强晶体表面的冷却散热，从而达到为硅单晶生长提供更大纵向温度梯度的目的。

主权项：1.一种单晶炉冷却水循环系统，包括常规冷却水循环系统1，其特征在于：所述常规冷却水循环系统1的外侧增设冷冻水循环系统2，所述冷冻水循环系统2由一个冷冻水池21、两台水泵22、两台冷冻机23、一个水温传感器24、一套远程水温控制系统25、三个流量计26和若干个阀门27组成，所述冷冻水循环系统2设置有第一线路3和第二线路4，所述第一线路3和第二线路4之间可通过一个阀门27连通。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 海纳半导体(山西)有限公司 一种单晶炉冷却水循环系统

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