申请/专利权人：北京科华微电子材料有限公司;上海彤程电子材料有限公司

申请日：2024-01-31

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117723496A

主分类号：G01N21/25

分类号：G01N21/25;G01N21/33

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要：本发明涉及定性检测技术领域，具体而言，涉及一种光致产酸剂中残留酸的检测方法。本发明的光致产酸剂中残留酸的检测方法，包括以下步骤：将芳香内酯类的化合物和溶剂混合，得到标准溶液；采用紫外可见分光光度计测量所述标准溶液以获取标准紫外吸收曲线；再将待检测的光致产酸剂与所述标准溶液混合，得到第一混合体系；采用紫外可见分光光度计测量所述第一混合体系以获得第一紫外吸收曲线；将所述标准紫外吸收曲线和所述第一紫外吸收曲线进行比对，以判断所述光致产酸剂中是否含有残留酸。该方法可以快速、准确地检测出光致产酸剂中是否有残留酸，以及不同批次光致产酸剂中残留酸含量是否相同。

主权项：1.一种光致产酸剂中残留酸的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：将芳香内酯类的化合物和溶剂混合，得到标准溶液；采用紫外可见分光光度计测量所述标准溶液以获取标准紫外吸收曲线；再将待检测的光致产酸剂与所述标准溶液混合，得到第一混合体系；采用紫外可见分光光度计测量所述第一混合体系以获得第一紫外吸收曲线；将所述标准紫外吸收曲线和所述第一紫外吸收曲线进行比对，以判断所述光致产酸剂中是否含有残留酸。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京科华微电子材料有限公司;上海彤程电子材料有限公司 一种光致产酸剂中残留酸的检测方法

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