申请/专利权人：东莞市晟鼎精密仪器有限公司

申请日：2024-02-05

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117724005A

主分类号：G01R31/40

分类号：G01R31/40;H05H1/00;G06F18/241;G06F17/15;G06F17/18

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要：本发明公开了一种中频宽幅等离子电源智能监控系统及方法，属于等离子电源智能监控技术领域。本发明系统包括数据采集模块、数据整理模块、等离子体处理效果评估模块以及实时数据评估模块；所述数据采集模块收集不同功率设置下等离子体信号及等离子电源性能参数；所述数据整理模块构建历史数据集并分析等离子体参数与等离子电源性能参数的关联关系；所述等离子体处理效果评估模块根据历史数据集评估不同功率设置下的理想处理效果，并调整等离子电源性能参数；所述实时数据评估模块根据实时数据评估处理效果，若未达到理想效果则通知相关人员进行分析及记录。

主权项：1.一种中频宽幅等离子电源智能监控方法，其特征在于：所述方法包括以下步骤：S100.采集不同时间段、不同功率设置下喷枪产生的等离子体信号，通过等离子体信号得到等离子体参数，并记录对应的等离子电源性能参数，按照不同功率设置进行分类整理，构建历史数据集；S200.根据历史数据集，分析历史数据集中等离子体参数与等离子电源性能参数之间的关联关系；根据关联关系和等离子体理想参数，评估不同功率设置下等离子体的处理效果，并与历史数据表中的等离子体参数信息和等离子电源性能参数进行对应；S300.结合步骤S200的评估结果对比不同功率下等离子体处理效果的差异，选取不同功率下最佳等离子电源性能参数设置；根据最佳等离子电源性能参数设置，调整等离子电源性能参数，并采集实时数据；S400.根据实时数据评估等离子体处理效果，对实时数据的等离子体处理效果进行分析，根据分析结果进行预警，并记录预警结果。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东莞市晟鼎精密仪器有限公司 一种中频宽幅等离子电源智能监控系统及方法

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