申请/专利权人：鲁姆斯有限公司

申请日：2022-07-26

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117730238A

主分类号：G01B11/26

分类号：G01B11/26

优先权：["20210726 US 63/225,584"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要：本文公开了用于验证样品的内部小平面的平行度的方法。该方法包括：i提供样品，该样品包括透光基板和内部小平面，这些内部小平面标称地平行并且相对于样品的平坦表面以角度μnom标称地倾斜；ii提供棱镜，该棱镜与基板具有基本相同的折射率并且包括平坦的第一表面和平坦的第二表面，该第二表面与第一表面相对并且相对于第一表面以基本上角度μnom倾斜；iii定位样品和棱镜，使得样品的表面与棱镜的第二表面平行并相邻；iv在棱镜的第一表面上基本上与该第一表面垂直地投射入射光束；v感测在从内部小平面反射之后从棱镜返回的光；以及vi计算内部小平面之间的平行度偏差。

主权项：1.一种用于对样品进行度量的基于光学的系统，所述样品具有折射率为ns的基板以及两个或更多个内部小平面，所述两个或更多个内部小平面嵌入在所述基板中并且相对于所述样品的外部且平坦的表面以标称锐角μnom标称地定向，所述系统包括透光光学元件和光学装置，所述光学装置包括光源和光感测部件，其中，所述光学元件具有约等于ns的折射率并且包括外部且平坦的第一表面和外部且平坦的第二表面，所述外部且平坦的第一表面和所述外部且平坦的第二表面彼此相对并且在它们之间限定约等于所述标称角度μnom的角度；其中，所述光学装置被配置成能够定位所述样品和或所述光学元件，使得：i所述光学元件的第二表面与所述样品的表面平行并相邻，以及ii当如此定位时，由所述光源生成的光束大约垂直于所述第一表面入射在所述光学元件的第一表面上；其中，所述光学装置还被配置成将返回光束聚焦于所述光感测部件，以使得能够确定所述返回光束之间的角度偏差；并且其中，所述返回光束是在所述入射光束穿过所述光学元件、透射到所述样品中并反射离开所述内部小平面、再穿过所述光学元件并经由所述光学元件的第一表面从所述光学元件出射之后获得的，因此所述角度偏差指示所述内部小平面之间的平行度偏差。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 鲁姆斯有限公司 内部小平面之间的平行度的基于光学的验证

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