申请/专利权人：西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司

申请日：2023-12-07

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117718893A

主分类号：B24B57/02

分类号：B24B57/02;B24B57/00;B24B37/04

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要：本公开提供一种抛光液供给系统及抛光设备，该抛光液供给系统包括：储液容器，储液容器具有用于储放抛光液的内腔，储液容器上设有第一出液口、第二出液口和回液口；供液管路，连通至第一出液口，供液管路上设有第一动力泵，第一动力泵用于将抛光液经由第一出液口输送至抛光装置；回液管路，回液管路的一端连通至第二出液口，另一端连通至回液口，回液管路上设有第二动力泵，第二动力泵用于将抛光液经由第二出液口泵送至回液口，以使抛光液进行自循环。本公开实施例提供的抛光液供给系统及抛光设备，能够减少由于抛光液结晶析出，改善由于结晶而导致晶圆划伤等问题，提高抛光产品品质。

主权项：1.一种抛光液供给系统，用于向抛光装置供给抛光液；其特征在于，所述抛光液供给系统包括：储液容器，所述储液容器具有用于储放抛光液的内腔，所述储液容器上设有第一出液口、第二出液口和回液口；供液管路，连通至所述第一出液口，所述供液管路上设有第一动力泵，所述第一动力泵用于将抛光液经由所述第一出液口输送至所述抛光装置；回液管路，所述回液管路的一端连通至所述第二出液口，另一端连通至所述回液口，所述回液管路上设有第二动力泵，所述第二动力泵用于将抛光液经由所述第二出液口泵送至所述回液口，以使所述抛光液进行自循环。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 一种抛光液供给系统及抛光设备

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