申请/专利权人：东横化学株式会社;日商化工技术边界股份有限公司

申请日：2023-06-27

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117897520A

主分类号：C30B29/06

分类号：C30B29/06;B01J7/02;C23C16/448;C30B25/14;F28C3/08;F28D7/16

优先权：["20220509 JP 2022-077155"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.16#公开

摘要：将成分气体与运载气体的混合气体用紧凑的装置结构效率良好地供给。混合气体供给装置1A、1B具备：蒸发器10，将液体成分和运载气体加热，生成液体成分气化后的成分气体与运载气体的混合气体；以及冷却器30，将在蒸发器10生成的混合气体冷却，供给使过饱和部分冷凝分离后的成分气体与运载气体的混合气体。蒸发器10具备管壳型加热机构，在蒸发器10的壳体11内，运载气体用管16、17在水平方向上延伸，所述运载气体用管16、17在多个部位开设有运载气体的起泡用的孔16H、17H，在蒸发器10的壳体11的下部设置有液体成分供给口20，在蒸发器10的壳体11的上部设置有送出口23，所述送出口23将液体成分气化后的成分气体与运载气体的混合气体送出，冷却器30的下部借助配管31而与蒸发器10的送出口23连接。

主权项：1.一种混合气体供给装置，具备：蒸发器，将液体成分和运载气体加热，生成液体成分气化后的成分气体与运载气体的混合气体；以及冷却器，将在蒸发器生成的混合气体冷却，供给使过饱和部分冷凝分离后的成分气体与运载气体的混合气体；其特征在于，蒸发器具备管壳型加热机构，所述管壳型加热机构具有将轴朝向水平方向的筒型的壳体，在壳体内具有在轴向上延伸的载热体用管；在蒸发器的壳体内，运载气体用管在水平方向上延伸，所述运载气体用管在多个部位开设有运载气体的起泡用的孔；在蒸发器的壳体的下部设置有液体成分供给口；在蒸发器的壳体的上部设置有送出口，所述送出口将液体成分气化后的成分气体与运载气体的混合气体送出；冷却器的下部借助配管而与蒸发器的送出口连接，并且借助配管而与液体成分供给口连接，在冷却器形成的冷凝液从液体成分供给口返回到蒸发器的壳体内。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东横化学株式会社;日商化工技术边界股份有限公司 气体供给装置

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