申请/专利权人：艾感科技(广东)有限公司

申请日：2020-07-21

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN113504272B

主分类号：G01N27/12

分类号：G01N27/12;B82Y15/00;B82Y30/00;B82Y40/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2021.11.02#实质审查的生效;2021.10.15#公开

摘要：本发明涉及一种差异化检测的气体传感器及其气体检测方法，至少包括三维纳米管气体传感器阵列，所述三维纳米管贯穿阳极氧化铝薄膜并且允许气体从三维纳米管的两端流通，其中，所述阳极氧化铝薄膜第一表面的沿第一方向排列的且与传感区域对应的若干第一电极以打线结合的方式进行短接；所述阳极氧化铝薄膜第二表面的沿第二方向排列的且与传感区域对应的共用第二电极与陶瓷层第一表面上的第三电极连接，所述阳极氧化铝薄膜中由第一电极和第二电极电连接区域形成用于采集气体成分的传感区域。本发明将结合打线接合技术及上下交叉电极技术，集成三维纳米管阵列，完成上下电极的引出，实现了能够同时探测多种气体的三维纳米管传感器阵列。

主权项：1.一种差异化检测的气体传感器，至少包括三维纳米管气体传感器阵列，其特征在于，所述三维纳米管贯穿阳极氧化铝薄膜并且允许气体从三维纳米管的两端流通，其中，所述三维纳米管的管壁划分为沉积至少两种金属纳米颗粒溶液的至少两个传感区域，使得三维纳米管内包括气体敏感度差异化的若干传感区域，三维纳米传感器的传感区域中的至少两种金属颗粒修饰区域能够按照管壁的轴向纵向划分，形成纵向传感区域；或者，按照管壁的周向划分，形成环形的探测区域；或者，在管壁以螺旋曲线形区域进行相邻设置，所述阳极氧化铝薄膜第一表面的沿第一方向排列的且与传感区域对应的若干第一电极以打线结合的方式进行短接；所述阳极氧化铝薄膜第二表面的沿第二方向排列的且与传感区域对应的共用第二电极与陶瓷层第一表面上的第三电极连接，所述阳极氧化铝薄膜中由第一电极和第二电极电连接区域形成用于采集气体成分的传感区域。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 艾感科技(广东)有限公司 一种差异化检测的气体传感器及其气体检测方法

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