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【发明授权】二自由度解耦大行程柔性结构微动平台_东北林业大学_202211587925.1 

申请/专利权人:东北林业大学

申请日:2022-12-06

公开(公告)日:2024-03-19

公开(公告)号:CN116155136B

主分类号:H02N2/04

分类号:H02N2/04;H02N2/02

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.03.19#授权;2023.06.09#实质审查的生效;2023.05.23#公开

摘要:二自由度解耦大行程柔性结构微动平台,属于微动平台技术领域。它提供一种基于杠杆放大、能够实现高精度、大行程、运动解耦的微动平台。机架为框型结构,安装在机架上的两个压电陶瓷驱动单元分别设置X轴和Y轴,工作平台设置在X轴和Y轴的交点上,并柔性安装在机架上,两个压电陶瓷驱动单元各通过一个柔性铰链放大单元结构带动工作平台1沿X轴、Y轴移动。本发明柔性铰链结构一体制造,且结构完全对称,以便微动平台具有良好的力学性能;同时在每个柔性放大单元具有两个放大机构,其中一个为二级放大机构,另一个可以将前放大机构的输出位移再一次放大。最后可实现在工作平台上位移方向有大行程。

主权项:1.一种二自由度解耦大行程柔性结构微动平台,其特征在于:包括工作平台1、机架2、两个柔性铰链放大单元结构3及两个压电陶瓷驱动单元4;所述机架2为框型结构,安装在机架2上的两个压电陶瓷驱动单元4分别设置X轴和Y轴,所述工作平台1设置在X轴和Y轴的交点上,并柔性安装在机架2上,两个压电陶瓷驱动单元4各通过一个柔性铰链放大单元结构3带动工作平台1沿X轴、Y轴移动,每个所述柔性铰链放大单元结构3均包括一级杠杆放大机构31、二级杠杆放大机构33、输入杆36、输出杆34及导向杆32;所述一级杠杆放大机构31通过输入杆36与压电陶瓷驱动单元4连接,所述二级杠杆放大机构33通过输出杆34与机架2的对应固定块一21连接,所述一级杠杆放大机构31通过导向杆32把力和位移传递给二级杠杆放大机构33,所述一级杠杆放大机构31包括两个第一放大杆311;所述两个第一放大杆311一端对称设置在压电陶瓷驱动单元4两侧,并与压电陶瓷驱动单元4柔性连接,两个第一放大杆311另一端与两个导向杆32一端一一对应柔性连接,两个第一放大杆311与机架2的框架25柔性连接,所述二级杠杆放大机构33包括两个第二放大杆331;所述两个第二放大杆331一端对称设置在对应固定块一21两侧,并与固定块一21柔性连接,两个第二放大杆331另一端与两个导向杆32另一端一一对应柔性连接,两个第二放大杆331与机架2的框架25柔性连接,所述机架2包括框架25、四个固定块一21、四个固定块二22、多个柔性薄板一24及八个柔性薄板二23;所述四个固定块一21分别布置在矩形的四个边上,所述四个固定块二22分别布置在矩形的四个角上,四个固定块二22和四个固定块一21之间通过柔性薄板二23串接形成矩形架体,该矩形架体对称套装在工作平台1外侧,所述工作平台1通过多个柔性薄板一24分别与四个固定块一21连接,所述四个固定块二22与框架25连接。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 东北林业大学 二自由度解耦大行程柔性结构微动平台

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