申请/专利权人：西安交通大学

申请日：2022-05-06

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN114859444B

主分类号：G02B3/00

分类号：G02B3/00;C03C15/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2022.08.23#实质审查的生效;2022.08.05#公开

摘要：本发明涉及折射型红外微光学器件制备技术，具体涉及一种硫系玻璃红外复眼的制备方法。本发明采用“两步法”制备硫系玻璃红外复眼，包括以下步骤：1样品清洗；2通过飞秒激光改性，在曲面K9玻璃基板的表面形成烧蚀弹坑；3曲面湿法刻蚀工艺，通过超声水浴化学腐蚀，得到曲面K9玻璃复眼模板；4通过高温模压工艺制备硫系玻璃曲面复眼预制体；5通过高温模压工艺制备硫系玻璃红外复眼。本发明解决了现有复眼制备工艺生产成本高、加工效率低、成品质量差等问题，制备的红外玻璃复眼具有优异的光学性能，可以实现红外热成像，大视场成像且分辨率高，可以被广泛应用于无人驾驶、机器人视觉和红外遥感监测等领域。

主权项：1.一种硫系玻璃红外复眼的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：ⅰ样品清洗：清洗曲面玻璃基板1，烘干备用；ⅱ飞秒激光改性：将飞秒激光束通过光学聚焦物镜聚焦到步骤ⅰ中烘干后的曲面玻璃基板1表面，将曲面玻璃基板1固定在三维平移台上，通过移动三维平移台对曲面玻璃基板1进行激光改性，在曲面玻璃基板1的表面形成多个烧蚀弹坑2；ⅲ曲面湿法刻蚀工艺：将步骤ⅱ中激光改性后具有烧蚀弹坑2的曲面玻璃基板1放置于氢氟酸溶液中，进行超声水浴化学腐蚀，待曲面玻璃基板1表面的多个烧蚀弹坑2形成表面光滑的微凹透镜3，得到曲面玻璃复眼模板，清洗曲面玻璃复眼模板，烘干备用；ⅳ制备曲面复眼预制体：将硫系玻璃基材4放置在未处理的另一个形状尺寸相同的曲面玻璃基板1上，然后共同放入到高温炉当中，通过控制温控参数和模压压力参数来完成高温模压工艺，待整个高温模压工艺完成之后冷却脱模，再清洗烘干，得到硫系玻璃曲面复眼预制体5；步骤ⅳ中，高温模压工艺具体为：首先在高温炉程序中设置模压压力为13-20Ncm2；控制高温炉内温度以8-12℃min的升温速率从室温升至模压温度355℃-375℃，然后再以模压温度恒温保持10-15分钟，接着缓慢降温阶段在高温炉的控制下将炉内温度以不高于8℃min的降温速率从模压温度降至缓慢降温温度180-200℃，之后再迅速降温到室温，进行脱模；ⅴ制备曲面复眼：将步骤ⅳ中制备好的硫系玻璃曲面复眼预制体5放置到步骤ⅲ中制备的曲面玻璃复眼模板上，然后共同放入到高温炉中，通过控制温控参数和模压压力参数来完成高温模压工艺，待整个高温模压工艺完成之后冷却脱模，再清洗烘干，得到硫系玻璃红外复眼7；步骤ⅴ采用和步骤ⅳ中相同的温度参数来控制整个高温精密模压过程。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 西安交通大学 一种硫系玻璃红外复眼的制备方法

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