申请/专利权人：先进工程解决方案全球控股私人有限公司

申请日：2020-07-13

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN114222958B

主分类号：G05F1/56

分类号：G05F1/56;H01J37/32

优先权：["20190712 US 62/873,680"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2022.07.22#实质审查的生效;2022.03.22#公开

摘要：公开了偏置电源、等离子体处理系统和相关方法。一种偏置电源包括耦接在开关的第一节点和输出节点之间的第一电感器，其中第二电感器的第一节点耦接到输出节点或开关的第一节点中的一个节点。电压源耦接在开关的第二节点和第二电感器的第二节点之间。在返回节点与开关的第二节点和第二电感器的第二节点中的一个节点之间形成连接。偏置电源还包括控制器，控制器被配置为通过反复地闭合开关使得通过开关的电流完成完整周期来引起在输出节点和返回节点之间施加周期电压。

主权项：1.一种用于施加周期电压的偏置电源，包括：输出节点；返回节点；开关；第一电感器，耦接在所述开关的第一节点和所述输出节点之间；第二电感器，所述第二电感器的第一节点耦接到所述输出节点或所述开关的所述第一节点中的一个节点；电压源，耦接在所述开关的第二节点和所述第二电感器的第二节点之间；在所述开关的所述第二节点和所述第二电感器的所述第二节点中的一个节点与所述返回节点之间的连接；以及控制器，被配置为通过反复地闭合所述开关达一定时间来引起在所述输出节点和所述返回节点之间施加所述周期电压，所述时间的长度刚好足以使通过所述开关的电流完成从零到峰值、回到零、到在相反方向上的峰值并且回到零的完整周期。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 先进工程解决方案全球控股私人有限公司 具有单个受控开关的偏置电源

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