申请/专利权人：欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔

申请日：2019-10-28

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN112930418B

主分类号：C23C14/58

分类号：C23C14/58;C23C14/06

优先权：["20181026 US 62/750,999"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2021.10.01#实质审查的生效;2021.06.08#公开

摘要：本发明涉及一种用于生产多功能涂层结构的PVD涂覆工艺，包括以下步骤：在基材上生产HEA陶瓷基体；将受控析出结构定向引入该HEA陶瓷基体中以产生期望的涂层结构特定性能。

主权项：1.一种用于生产多功能涂层结构的PVD涂覆工艺方法，包括以下步骤：-在基材上制造HEA陶瓷基体，-将受控析出结构定向引入该HEA陶瓷基体中以产生所述涂层结构的期望的特定性能，其中受控析出结构定向引入HEA陶瓷基体通过热处理来进行，并且通过热处理，在该HEA陶瓷基体层中仅不到50纳米被直接加热，并且该受控析出结构定向引入HEA陶瓷基体是在HEA陶瓷基体沉积过程中原位进行的，并且该受控析出结构被引入该HEA陶瓷基体通过用于将该HEA陶瓷基体表面急速加热到在900~1000℃之间温度的激光形式的瞬时加热源来进行，并且使得所述基材交替接受涂覆和急速加热的作用，涂层生长通过涂层沉积和急速加热继续，以按照有序方式形成HEA陶瓷基体和受控析出结构。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔 具有带有受控析出结构的HEA陶瓷基体的PVD涂层

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