申请/专利权人：长沙壹纳光电材料有限公司

申请日：2022-07-21

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN115261805B

主分类号：C23C14/34

分类号：C23C14/34;B23K20/10;B23K37/04

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2022.11.18#实质审查的生效;2022.11.01#公开

摘要：本发明涉及一种平面靶材的绑定方法，属于光电功能材料技术领域。该方法包括以下步骤：S1、将靶材绑定面与背板绑定面依次进行喷砂和等离子清洗；制得表面处理后的靶材和表面处理后的背板；S2、将所述表面处理后的靶材及所述表面处理后的背板升温至170℃～180℃后，进行超声波焊接铟；S3、在步骤S2处理后的背板绑定面上制作3mm～5mm深的铟池；S4、将步骤S2处理后的靶材放入所述铟池中，直至完全浸入铟池；S5、对步骤S4处理后的靶材表面采用超声波进行震动；S6、将步骤S5处理后靶材施加作用力后冷却；S7、将步骤S6处理后靶材拼接缝隙中的铟去除后，再次冷却。本发明的绑定方法最终达到99％以上的贴合率。

主权项：1.一种平面靶材的绑定方法，其特征在于：包括以下步骤：S1、将靶材绑定面与背板绑定面依次进行喷砂和等离子清洗，制得表面处理后的靶材和表面处理后的背板；S2、将所述表面处理后的靶材及所述表面处理后的背板升温至170℃～180℃后，在所述表面处理后的靶材绑定面及所述表面处理后的背板绑定面进行超声波焊接铟，其中所述超声波焊接铟过程中超声波的频率为15kHz～25kHz、超声波的振幅为0.01mm～0.05mm、焊接时间为0.3mincm2～0.7mincm2；S3、在所述背板绑定面上制作3mm～5mm深的铟池；S4、将步骤S2处理后的靶材以不大于1°s的倾斜速度放入所述铟池中，直至完全浸入铟池，其中所述靶材和背板的夹角在45°以下；S5、对步骤S4处理后的靶材表面采用超声波进行震动；S6、将步骤S5处理后靶材定位摆放后，塞入聚四氟乙烯间隙片，施加作用力后，并将靶材冷却；S7、将步骤S6处理后靶材拼接缝隙中的铟去除后，以0.1℃min～0.5℃min的速率再次冷却；其中，所述靶材为ITO平面靶材，所述背板为无氧铜背板。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 长沙壹纳光电材料有限公司 一种平面靶材的绑定方法

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