申请/专利权人：苏州安田丰科技有限公司

申请日：2022-01-11

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN114367877B

主分类号：B24B1/00

分类号：B24B1/00;B24B27/00;B24B41/04;B24B41/06;B24B47/12;B24B47/22;B24B55/04;H01L21/304;H01L21/68

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2022.05.06#实质审查的生效;2022.04.19#公开

摘要：本发明属于晶圆加工技术领域，提供了一种晶圆notch定位槽的加工方法及装置，方法包括：通过定位组件对多个晶圆进行固定；通过粗磨组件对多个晶圆进行粗磨；通过精磨组件对多个晶圆进行精磨；装置包括：定位组件、粗模组件和精磨组件，定位组件的下方设有第一驱动组件，第一驱动组件安装在底座上，第一驱动组件与定位组件驱动连接，定位组件的两侧对称地设置有可调节宽度的限位组件，定位组件的前端设置有夹紧组件，第一驱动组件与控制器电连接。本发明的一种晶圆notch定位槽的加工方法及装置，提高产品的生产效率和生产品质。

主权项：1.一种晶圆notch定位槽的加工方法，其特征在于，包括：通过定位组件对多个晶圆2进行固定；通过粗磨组件对多个晶圆2进行粗磨；通过精磨组件对多个晶圆2进行精磨；所述定位组件的下方设有第一驱动组件112，第一驱动组件112安装在底座1上，第一驱动组件112与定位组件驱动连接，定位组件的两侧对称地设置有可调节宽度的限位组件，定位组件的前端设置有夹紧组件，第一驱动组件112与控制器电连接；所述粗磨组件和精磨组件位于龙门架3的上方，龙门架3与底座1固定连接，龙门架3的横梁上安装有两个可进行水平和垂直方向移动的驱动机构，一个驱动机构与粗磨组件驱动连接，另一个驱动机构与精磨组件驱动连接，粗磨组件、精磨组件和两个驱动机构均与控制器电连接；所述粗磨组件包括第一驱动电机355和粗磨砂轮356，第一驱动电机355与驱动机构驱动连接，第一驱动电机355与粗磨砂轮356驱动连接，第一驱动电机355与控制器电连接；所述精磨组件包括第二驱动电机357和精磨砂轮358，第二驱动电机357与驱动机构驱动连接，第二驱动电机357与精磨砂轮358驱动连接，第二驱动电机357与控制器电连接；所述龙门架3的横梁上开设有安装槽31，所述驱动机构包括水平驱动组件32和垂直驱动组件34，水平驱动组件32固定在安装槽31内，水平驱动组件32上固定安装有第一固定板33，垂直驱动组件34固定安装在第一固定板33的中心区域，垂直驱动组件34上固定安装有第二固定板35，第一驱动电机355或第二驱动电机357固定安装在第二固定板35上；所述定位组件包括底板12，底板12与驱动机构驱动连接，底板12上安装有前挡板121和后挡板122，限位组件位于前挡板121和后挡板122之间；所述限位组件包括第一限位杆124和第二限位杆125，第一限位杆124位于第二限位杆125的下方，第一限位杆124的两端分别与前挡板121和后挡板122固定连接，第二限位杆125的两端分别与前挡板121和后挡板122活动连接；前挡板121和后挡板122与第二限位杆125对应的位置均开设有活动槽，活动槽包括横槽1211和竖槽1212，横槽1211和竖槽1212相连通，竖槽1212的顶壁上螺纹连接有压紧螺杆1213；所述夹紧组件包括旋转螺杆1214，旋转螺杆1214与前挡板121螺纹连接，旋转螺杆1214的一端转动连接有夹紧片1215，旋转螺杆1214的另一端固定安装有转盘1216，转盘1216上固定安装有摇柄1217；底板12上安装有限位块123，限位块123的中心区域开设有限位槽1231；所述底座1上安装有固定块11，固定块11的中心区域开设有凹槽111，第一驱动组件112安装在凹槽111内，底板12的两侧分别与固定块11的两侧边缘滑动连接。

全文数据：

权利要求：

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