申请/专利权人：东莞市鼎力自动化科技有限公司

申请日：2023-12-01

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117352447B

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677;H01L21/68;H01L31/18

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2024.01.23#实质审查的生效;2024.01.05#公开

摘要：本发明公开了一种硅片插片机的防隐裂上料设备，包括水床滑台本体和设于水床滑台本体上的硅片夹具；硅片夹具包括具有凸台的载板，凸台转动设有定位元件；定位元件包括T型杆和连接在T型杆上的定位接触部，T型杆一端连接有齿杆；凸台内滑动设有与齿杆啮合的直齿板，凸台还转动设有与直齿板螺纹连接的丝杆，通过转动丝杆，使丝杆驱动直齿板滑动，直齿板通过齿杆，使T型杆带动定位接触部旋转。本发明能够有效解决晶体硅片上料时，晶体硅片会受外力作用或操作不当造成隐裂的问题。

主权项：1.一种硅片插片机的防隐裂上料设备，其特征在于，包括水床滑台本体和设于水床滑台本体上的硅片夹具；硅片夹具包括具有凸台的载板，凸台转动设有定位元件；定位元件包括T型杆和连接在T型杆上的定位接触部，T型杆一端连接有齿杆；凸台内滑动设有与齿杆啮合的直齿板，凸台还转动设有与直齿板螺纹连接的丝杆，通过转动丝杆，使丝杆驱动直齿板滑动，直齿板通过齿杆，使T型杆带动定位接触部旋转；其中，所述定位接触部包括固定设于T型杆的圆块，圆块连接有直杆，直杆圆周外表面转动连接有空心杆，空心杆外壁设有相对设置的光滑钢板和硅胶材质制成的防护板，空心杆远离圆块的一端设有环形齿板，直杆远离圆块的一端转动设有与环形齿板啮合的齿轮，通过转动齿轮，使环形齿板带动空心杆转动，空心杆带动光滑钢板和防护板转动，所述载板包括定板和与定板转动连接的动板，动板能够相对定板转动，硅胶板下表面与定板上表面固定，硅胶板下表面与动板上表面紧密贴合，所述定板下表面设有卡槽管，卡槽管内滑动连接有光滑杆，动板下表面设有卡套，光滑杆远离卡槽管的一端设有与卡套相卡合的卡杆，所述光滑杆外壁开设有半圆槽，半圆槽内阻尼转动设有调节杆，调节杆一端贯穿卡杆并转动连接有握杆，通过旋转握杆带动调节杆绕卡杆进行阻尼旋转，调节杆外壁套设有能够与动板下表面紧密贴合的橡胶杆，调节杆与橡胶杆的非中心处相连接，凸台底部开设有滑槽，直齿板滑动连接在滑槽内，定位元件共设有四组，四组定位元件等距分布在载板的四个方位上。

全文数据：

权利要求：

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