申请/专利权人：常州强力先端电子材料有限公司;常州强力电子新材料股份有限公司;常州强力光电材料有限公司

申请日：2022-03-14

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN115368287B

主分类号：C07D207/327

分类号：C07D207/327;C07D209/08;C07D213/57;C07D317/72;C07C323/63;C07D333/24;C07C303/00;C07C309/73;C07C309/65;C07C309/00;C07C303/28;G03F7/004

优先权：["20210519 CN 2021105609459"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2022.12.09#实质审查的生效;2022.11.22#公开

摘要：本发明公开一种感光度高，溶解性和化学稳定性更具优势的i线肟磺酸酯类光产酸剂，含有该光产酸剂的抗蚀剂组合物及其应用，所述肟磺酸酯类光产酸剂具有通式I所示结构。

主权项：1.一种i线肟磺酸酯类光产酸剂，具有如下通式I所示结构： 其中，R1表示C1-C8的直链状或支链状的烷基、C1-C8的直链状或支链状的全氟代烷基、被C1-C4的烷基取代的苯基、樟脑基、樟脑醌基或叠氮萘酮基团；R2可相同，也可不同，各自独立地选自下列基团：C1-C8的直链状或支链状的烷基，C2-C8的直链状或支链状的链烯基，C2-C8的直链状或支链状的炔基，C1-C8的直链状或支链状的烷氧基，C1-C8的直链状或支链状的烷硫基，被1个以上的-O-中断的C2-C7的直链状或支链状的烷基，苯基，被C1-C4的烷基或烷氧基取代的苯基；或者两个R2彼此相连以形成五元环或六元环；R3选自下列基团：氢，硝基或

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百度查询： 常州强力先端电子材料有限公司;常州强力电子新材料股份有限公司;常州强力光电材料有限公司 一种高产酸的i线肟磺酸酯类光产酸剂

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