申请/专利权人：上海衍梓自动化科技有限公司

申请日：2023-08-22

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN220617492U

主分类号：B65G47/90

分类号：B65G47/90;B65G43/08;H01L21/677

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权

摘要：本实用新型涉及存储台领域，尤其是自动取放式存储台。该存储台包括缓存台板、满载箱定位槽、立柱、底板、滚轮、控制室、多轴机械手、抓取机构、晶圆暂存箱、凸起部、空箱定位槽，所述缓存台板通过立柱固定连接在底板上，底板底部转动连接有数个滚轮，底板上设有控制室，缓存台板上设有用于配合满载的晶圆暂存箱的满载箱定位槽和用于配合空的晶圆暂存箱的空箱定位槽，晶圆暂存箱顶部设有用于配合抓取机构的凸起部，抓取机构安装在多轴机械手上。本实用新型通过缓存台板上的满载箱定位槽和空箱定位槽来放置满载晶圆暂存箱和空晶圆暂存箱。通过多轴机械手配合抓取机构来将晶圆暂存箱在加工设备和缓存台板之间转移。本申请提高了晶圆运载效率。

主权项：1.一种自动取放式存储台，其特征是，包括缓存台板1、满载箱定位槽2、立柱3、底板4、滚轮5、控制室6、多轴机械手7、抓取机构8、晶圆暂存箱9、凸起部10、空箱定位槽16，所述缓存台板1通过立柱3固定连接在底板4上，底板4底部转动连接有数个滚轮5，底板4上设有控制室6，缓存台板1上设有用于配合满载的晶圆暂存箱9的满载箱定位槽2和用于配合空的晶圆暂存箱9的空箱定位槽16，晶圆暂存箱9顶部设有用于配合抓取机构8的凸起部10，抓取机构8安装在多轴机械手7上，多轴机械手7安装在缓存台板1上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海衍梓自动化科技有限公司 自动取放式存储台

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD