申请/专利权人：成都成维精密机械制造有限公司

申请日：2023-08-29

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN220619102U

主分类号：C23C16/52

分类号：C23C16/52

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权

摘要：本实用新型公开了一种化学气相沉积炉的降出式出炉系统，涉及热处理设备技术领域，可解决目前人工进炉取产品导致安全性低、需要降温导致生产效率低的问题。本实用新型实施例的一种化学气相沉积炉的降出式出炉系统，包括：悬空设置的炉体，炉体底部设置有用于放置产品的炉底板；出料结构，出料结构包括用于将炉底板及其上的产品沿竖直方向传出炉体的竖向传动组件，竖向传动组件包括水平设置并于承托炉底板的承托结构以及用于驱动承托结构沿竖直方向上下移动的驱动结构。

主权项：1.一种化学气相沉积炉的降出式出炉系统，其特征在于，包括：悬空设置的炉体5，炉体5底部设置有用于放置产品的炉底板7；出料结构，出料结构包括用于将炉底板7及其上的产品沿竖直方向传出炉体5的竖向传动组件，竖向传动组件包括水平设置并于承托炉底板7的承托结构以及用于驱动承托结构沿竖直方向上下移动的驱动结构。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 成都成维精密机械制造有限公司 一种化学气相沉积炉的降出式出炉系统

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