申请/专利权人：北京市科学技术研究院

申请日：2023-08-28

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN220619081U

主分类号：C23C14/35

分类号：C23C14/35

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权

摘要：本实用新型公开了一种平面拼接靶材，涉及涂层制备领域，包括背板，所述背板的表面设有对称固定设有两个固定压条，两个所述固定压条呈横向平行分布设置，两个所述固定压条之间设置有多个靶材拼接单元；所述靶材拼接单元由第一靶材、第二靶材、第三靶材和第四靶材组成，所述第一靶材的两端、第二靶材的两端、第三靶材的两端和第四靶材的两端均固定设置于两个固定压条之间，所述第一靶材、第二靶材、第三靶材和第四靶材呈自由组合或者重复组合并相互压紧设置。本实用新型能够提高平面靶材的利用率，而且成分可变性强，同时散热性高，避免因过热出现开裂的现象。

主权项：1.一种平面拼接靶材，包括背板1，其特征在于：所述背板1的表面设有对称固定设有两个固定压条2，两个所述固定压条2呈横向平行分布设置，两个所述固定压条2之间设置有多个靶材拼接单元3；所述靶材拼接单元3由第一靶材6、第二靶材7、第三靶材8和第四靶材9组成，所述第一靶材6的两端、第二靶材7的两端、第三靶材8的两端和第四靶材9的两端均固定设置于两个固定压条2之间，所述第一靶材6、第二靶材7、第三靶材8和第四靶材9呈自由组合或者重复组合并相互压紧设置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京市科学技术研究院 一种平面拼接靶材

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