申请/专利权人：哈尔滨工业大学

申请日：2024-01-22

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117750752A

主分类号：H05K13/04

分类号：H05K13/04

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：一种气浮贴片机吸头，涉及半导体加工及微电子元器件制造技术领域。气浮轴承为圆筒结构，止推板为环形板固定在气浮轴承底端，回转电机转动安装在气浮轴承顶端，气动Z轴转动安装在气浮轴承底端，气动Z轴与回转电机连接传动，气动Z轴底端设置方槽并伸出止推板，回转电机与气动Z轴中心贯穿设置进气气道，方形气缸滑动插装在方槽内并留有气浮间隙，方形气缸侧壁加工节流微孔，吸头与方形气缸底端连接为一体，吸头两侧通过预紧弹簧与气动Z轴底端两侧连接，吸头底面中心设置吸气孔，侧方加工真空气道且外端安装真空接头。通过回转电机、气动Z轴和方形气缸的巧妙设置，能够同时满足吸头快速、高精度的径向回转运动和轴向位移运动。

主权项：1.一种气浮贴片机吸头，其特征在于：包括气浮轴承1、止推板2、回转电机3、气动Z轴4、方形气缸7以及吸头8，所述气浮轴承1为圆筒结构用于贴片机的连接固定，所述止推板2为环形板并同轴固定在气浮轴承1底端，且止推板2与气浮轴承1之间内侧留有环形槽，所述回转电机3同轴转动安装在气浮轴承1顶端，所述气动Z轴4同轴转动安装在气浮轴承1底端，气动Z轴4侧壁中间位置一体设置环形翼并转动卡设在所述环形槽内，气动Z轴4顶端与回转电机3连接传动，气动Z轴4底端中心设置方槽并经止推板2的中心孔伸出，回转电机3与气动Z轴4中心贯穿设置进气气道6，所述方形气缸7滑动插装在所述方槽内并留有气浮间隙，方形气缸7侧壁均匀加工多个节流微孔7-1，所述吸头8与方形气缸7底端连接为一体，吸头8两侧相对位置通过两根预紧弹簧9与气动Z轴4底端两侧对应位置连接，吸头8底面中心设置吸气孔8-1，吸头8侧方加工真空气道8-2并与所述吸气孔8-1连通，所述真空气道8-2外端安装真空接头8-3。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 哈尔滨工业大学 一种气浮贴片机吸头

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD