申请/专利权人：株式会社斯库林集团

申请日：2023-09-15

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117745770A

主分类号：G06T7/33

分类号：G06T7/33;H04N23/951;G06T7/13;G06T7/194;G06F30/39

优先权：["20220922 JP 2022-151168"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明的模板生成装置的区域选择部从设置在基板上的图案的CAD数据选择规定的大小的模板区域。模板生成部通过以描绘装置的拍摄用分辨率对该CAD数据的模板区域进行栅格化，来生成灰度的模板71。该拍摄用分辨率与描绘装置的描绘用分辨率不同。模板生成部针对模板71中包含的多个拍摄用像素95，将与图案要素93对应的像素的像素值设定为第一像素值，将与背景区域96对应的像素的像素值设定为第二像素值，将作为包含图案要素93的边缘的像素的含边缘像素95a的像素值设定为第一像素值和第二像素值之间的第三像素值。由此，能够提高描绘装置中的基板的对准精度。

主权项：1.一种模板生成装置，生成在描绘装置的基板对准中使用的模板，其中，所述模板生成装置包括：区域选择部，从作为设置在基板上的图案的CAD数据的图案CAD数据选择包含图案要素的至少一部分的规定的大小的模板区域；以及模板生成部，以与描绘装置的描绘用分辨率不同的所述描绘装置的拍摄部的拍摄用分辨率，对所述图案CAD数据的所述模板区域进行栅格化，来生成灰度的模板，所述模板生成部针对所述模板中包含的多个像素，将与所述图案要素对应的像素的像素值设定为第一像素值，将与背景区域对应的像素的像素值设定为第二像素值，将作为包含所述图案要素的边缘的像素的含边缘像素的像素值设定为所述第一像素值和所述第二像素值之间的第三像素值。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社斯库林集团 模板生成装置、描绘系统、模板生成方法以及存储介质

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