申请/专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所

申请日：2023-12-21

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117740178A

主分类号：G01K7/02

分类号：G01K7/02;G01K1/024

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明涉及一种基于SiCOI的主动激发式无线无源高温热流传感器，所述传感器由下至上依次包括：SiCOI晶圆10、下绝缘层20、下金属层30、上绝缘层40和上金属层50。本发明利用无线传输特性提高了测量的精确度，避开信号读取困难的同时，降低了制作成本，保留了SiC材料耐高温的特性，可实现超高温恶劣环境中热流密度的快速、准确测量。

主权项：1.一种基于SiCOI的主动激发式无线无源高温热流传感器，其特征在于：所述传感器由下至上依次包括：SiCOI晶圆10、下绝缘层20、下金属层30、上绝缘层40和上金属层50；其中，所述SiCOI晶圆10由下至上包括衬底102、薄膜支撑层103和热电敏感材料层104；隔热腔101位于所述衬底102内部，且沿所述衬底102的厚度方向贯穿所述衬底102，与所述薄膜支撑层103下表面相连；所述上金属层50的上表面一端设置电感器501，另一端设置微带天线502。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 一种基于SiCOI的主动激发式无线无源高温热流传感器

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD