申请/专利权人：厦门大学

申请日：2023-12-21

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117740756A

主分类号：G01N21/65

分类号：G01N21/65;G01N21/71

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明属于超薄金刚石导热性能检测技术领域，具体涉及一种金刚石超薄结构导热性能的测试方法。本发明将所述待测金刚石超薄结构固定在热沉上；在所述待测金刚石超薄结构表面，采用标定激光激发样品，通过分析金刚石特征拉曼峰峰位和环境温度的线性关系，得到待测金刚石超薄结构的温度系数；在所述待测金刚石超薄结构表面，采用加热激光激发样品，计算得到不同环境温度下待测金刚石超薄结构的热导率。本发明基于拉曼光谱进行金刚石超薄结构导热性能测试，该方法属于非接触类测试方法，相较于3ω法，避免了表面工艺对样品产生的破坏和测试误差；相较于TDTR法，其测试流程相对简单；且由于测试激光半径较小，该方法具有超高空间分辨率。

主权项：1.一种金刚石超薄结构导热性能的测试方法，其特征在于，包括以下步骤：1取待测金刚石超薄结构，所述待测金刚石超薄结构的形状为矩形，将所述待测金刚石超薄结构的宽边固定在热沉上；2在所述待测金刚石超薄结构表面，在不同环境温度条件下采用标定激光激发样品，所述标定激光功率≤1mW，得到在标定激光激发条件下与不同环境温度相对应的待测金刚石超薄结构的拉曼特征峰峰位，以环境温度为自变量，以对应的拉曼特征峰峰位为因变量进行线性拟合，得到待测金刚石超薄结构峰位与环境温度的线性关系，线性关系的斜率为待测金刚石超薄结构的温度系数；3在所述待测金刚石超薄结构表面，在不同环境温度的条件下采用加热激光激发样品，所述加热激光激发的功率≥15mW，得到在加热激光激发条件下与不同环境温度相对应的待测金刚石超薄结构的拉曼特征峰峰位，根据公式1计算不同环境温度条件下待测金刚石超薄结构的热导率，得到待测金刚石超薄结构的热导率随环境温度的变化曲线； 公式1中：κ为待测金刚石超薄结构的热导率，A为与样品尺寸和激光激发位置相关的常数，χ为待测金刚石超薄结构的温度系数，n为待测金刚石超薄结构的激光吸收常数；ΔP为加热激光功率和标定激光功率的差值；ΔωD为相同环境温度条件下加热激光与标定激光分别激发得到的拉曼特征峰峰位的差值。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 厦门大学 一种金刚石超薄结构导热性能的测试方法

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