申请/专利权人:江苏富乐华功率半导体研究院有限公司
申请日:2024-01-31
公开(公告)日:2024-03-22
公开(公告)号:CN117732122A
主分类号:B01D19/02
分类号:B01D19/02;B01D19/00;B01D29/03;B01D29/66
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开
摘要:本发明涉及氮化硅陶瓷制备技术领域,具体的说是一种氮化硅陶瓷浆料脉冲脱泡装置以及方法,该装置,包括机架,所述机架上端安装罐体,所述罐体内部设置内筒,所述内筒外端设置螺旋加热棒,所述机架内部底端安装超声波发生器,所述内筒内部底端等距镶嵌多个探头,且探头与超声波发生器电连接,所述机架内部底端设置真空泵,所述真空泵的进口连通安装吸管,所述吸管另一端穿过机架并与罐体左端连通,所述罐体左端连通安装输料管,该设计实现采用阶梯式真空度脉冲脱泡作业,脱泡时间短,提升脱泡效率,使氮化硅陶瓷浆料的性能高,有效保证后续制备的坯体的质量。
主权项:1.一种氮化硅陶瓷浆料脉冲脱泡装置,其特征在于:包括机架2,所述机架2上端安装左高右低倾斜布置的罐体1,所述罐体1内部设置内筒15,且内筒15沿着罐体1长度方向布置,所述内筒15外端设置螺旋加热棒17,且螺旋加热棒17位于罐体1内;所述机架2内部底端安装超声波发生器3,所述内筒15内部底端等距镶嵌多个探头14,且探头14与超声波发生器3电连接,所述机架2内部底端设置真空泵4,且真空泵4位于超声波发生器3左侧;所述真空泵4的进口连通安装带有控制阀的吸管5,所述吸管5另一端穿过机架2并与罐体1左端连通,所述吸管5与罐体1连通位置位于内筒15内侧,所述罐体1上端安装左低右高倾斜布置的预处理件,所述罐体1左端连通安装带有控制阀的输料管11,且输料管11位于吸管5外侧,所述输送管与罐体1连通位置位于内筒15内侧,所述输料管11另一端与预处理件连通布置。
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