申请/专利权人：甬江实验室

申请日：2023-12-27

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN117467410B

主分类号：C09K3/14

分类号：C09K3/14;C09G1/02;H01L21/306;B82Y30/00;B82Y40/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权;2024.02.20#实质审查的生效;2024.01.30#公开

摘要：本发明属于化学抛光领域，具体涉及一种核壳结构的复合磨粒及其制备方法和CMP浆料。所述核壳结构的复合磨粒包括纳米二氧化硅内核，以及形成在所述纳米二氧化硅内核表面上的壳层，所述壳层包括多种晶型的氧化铝、二氧化硅与氧化铝的结晶相中的至少两种。本发明的核壳结构的复合磨粒，外部壳层为多晶型氧化铝或二氧化硅与氧化铝的结晶相，硬度较大，可使得复合磨粒颗粒的硬度升高。

主权项：1.一种核壳结构的复合磨粒，其特征在于，包括纳米二氧化硅内核，以及形成在所述纳米二氧化硅内核表面上的壳层，所述壳层包括多种晶型的氧化铝、二氧化硅与氧化铝的结晶相中的至少两种。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 甬江实验室 核壳结构的复合磨粒及其制备方法和CMP浆料

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