申请/专利权人：铠侠股份有限公司

申请日：2023-08-16

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117742068A

主分类号：G03F1/36

分类号：G03F1/36;G03F1/78;G03F7/20

优先权：["20220920 JP 2022-149354"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：提供一种数据生成装置、数据生成方法以及计算机可读存储介质。一个实施方式的数据生成装置具备处理部、评价部以及转换部。处理部通过基于目标图案的光学邻近效应校正，设计与目标图案对应的包括多个矩形区域的掩模图案，该目标图案是使用光掩模形成于基板的图案。评价部使用成本函数来评价掩模图案，该成本函数包含微动长度来作为参数，该微动长度表示掩模图案所包括的各矩形区域的第1方向上的长度。转换部将掩模图案数据转换为与可变形束方式的描绘处理对应的描绘数据，该掩模图案数据表示评价满足预定条件的掩模图案。

主权项：1.一种数据生成装置，具备执行用于生成描绘数据的处理的计算机，所述描绘数据用于在光掩模形成掩模图案，所述计算机，通过基于目标图案的光学邻近效应校正，设计与所述目标图案对应的包括多个矩形区域的所述掩模图案，所述目标图案是使用所述光掩模来形成于基板的图案，使用成本函数来评价所述掩模图案，所述成本函数包含微动长度来作为参数，所述微动长度表示所述掩模图案所包括的各所述矩形区域的第1方向上的长度，将掩模图案数据转换为与可变形束方式的描绘处理对应的描绘数据，所述掩模图案数据表示评价满足预定条件的所述掩模图案。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 铠侠股份有限公司 数据生成装置、数据生成方法以及计算机可读存储介质

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