申请/专利权人：浙江陶特半导体材料有限公司

申请日：2024-01-26

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117735481A

主分类号：C01B7/24

分类号：C01B7/24

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本申请涉及智能纯化技术领域，其具体地公开了一种电子级三氟化氯纯化方法，其包括，将工业级三氟化氯通过预处理系统中进行去水分、去氧化物和去杂质处理以得到预处理后三氟化氯，将所述预处理后三氟化氯通过分馏塔进行分馏分离以得到高纯度三氟化氯，以及，将所述高纯度三氟化氯通过吸附系统，以在去除微量的水分、氧化物和有机杂质后得到纯化电子级三氟化氯；其中，在将所述高纯度三氟化氯通过吸附系统，以在去除微量的水分、氧化物和有机杂质后得到纯化电子级三氟化氯时，通过人工智能技术对吸附剂的饱和状态进行监测，从而及时有效地决定是否需要更换吸附剂，保证电子级三氟化氯的纯化效果。

主权项：1.一种电子级三氟化氯纯化方法，其特征在于，包括：将工业级三氟化氯通过预处理系统中进行去水分、去氧化物和去杂质处理以得到预处理后三氟化氯；将所述预处理后三氟化氯通过分馏塔进行分馏分离以得到高纯度三氟化氯；将所述高纯度三氟化氯通过吸附系统，以在去除微量的水分、氧化物和有机杂质后得到纯化电子级三氟化氯。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江陶特半导体材料有限公司 电子级三氟化氯纯化方法

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