申请/专利权人：苏州感测通信息科技有限公司

申请日：2023-11-27

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117741180A

主分类号：G01P15/125

分类号：G01P15/125

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明揭示了一种电容式Z轴加速度计，核心检测部分由结构层、锚点层和走线层组成，其中结构层包括可动质量块，可动质量外框，弹性耦合梁和扭摆弹性梁，走线层包含结构层下方的两组以上检测电容极板和信号引出线路，每一组检测电容极板设为单独的差分电容结构；可动质量块通过扭摆弹性梁耦合于锚点，并通过弹性耦合梁与相邻可动质量块和可动质量外框互连，形成整体悬浮于检测电容极板之上可动的结构层，任一可动质量块与扭摆弹性梁对称耦合，且在可动质量外框提供的偏心质量下绕扭摆弹性梁扭转。应用该Z轴加速度计，有利于减小整个芯片的面积，提升了产品整体结构稳定性和性能，能在复杂环境中有较好的输出，且有利于提高设计灵活性。

主权项：1.具有独立偏心质量结构的电容式Z轴加速度计，其特征在于：核心检测部分由结构层、走线层和锚点层组成，其中所述结构层包括可动质量块，可动质量外框，弹性耦合梁和扭摆弹性梁，所述走线层包含结构层下方的两组以上检测电容极板和信号引出线路，每一组检测电容极板设为单独的差分电容结构，所述锚点层设有用于固定结构层和连接结构层与走线层的锚点；数量与检测电容极板组数相匹配的可动质量块，通过扭摆弹性梁耦合于锚点，并通过弹性耦合梁与相邻可动质量块、可动质量外框互连，形成整体悬浮于检测电容极板之上可动的结构层，任一可动质量块与对应的扭摆弹性梁对称耦合，并在可动质量外框提供的偏心质量下绕扭摆弹性梁扭转。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州感测通信息科技有限公司 具有独立偏心质量结构的电容式Z轴加速度计

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD