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【发明授权】基于金属倾斜圆台或圆柱二维光栅的正交偏振分束器_暨南大学_202210184032.6 

申请/专利权人:暨南大学

申请日:2022-02-24

公开(公告)日:2024-03-22

公开(公告)号:CN114609794B

主分类号:G02B27/28

分类号:G02B27/28;G02B5/18

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.03.22#授权;2022.06.28#实质审查的生效;2022.06.10#公开

摘要:本发明公开了一种正入射条件下基于金属倾斜圆台或圆柱二维光栅的正交偏振分束器,单个周期的光栅结构由顶层金属材料构成二维结构光栅层、金属层、基底层构成;顶层的二维结构光栅层为对称排放的二维圆柱或圆台阵列结构。本发明公开的金属倾斜圆台或圆柱二维光栅的正交偏振分束器使得TE偏振模式的入射光中心波长为780nm以正入射条件入射时,衍射能量主要集中于0,‑1阶和0,1阶反射衍射级次,且能量大于45%;TM偏振模式的入射光中心波长为780nm以正入射条件入射时,衍射能量主要集中于‑1,0阶和1,0阶反射衍射级次,且能量大于45%,实现对光的偏振态正交分解,同时制作容宽大,方便制作。

主权项:1.一种基于金属倾斜圆台或圆柱二维光栅的正交偏振分束器,该金属倾斜圆台或圆柱二维光栅是偏振相关高衍射效率单层金属介质圆台或圆柱二维阵列光栅,其特征在于,所述金属倾斜圆台或圆柱二维光栅的光栅结构自上而下为二维结构介质光栅层1、金属层2和基底层3;位于顶层的二维结构介质光栅层1为规则等距排布的圆柱体或圆台结构;所述金属倾斜圆台或圆柱二维光栅的工作中心波长为750-780纳米,入射角为正入射;所述金属倾斜圆台或圆柱二维光栅的光栅周期为980-990纳米;所述二维结构介质光栅层1的占宽比f为0.472-0.796,厚度为530-557纳米,侧壁倾角为70°-90°,所述金属层2的厚度为150-300纳米。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 暨南大学 基于金属倾斜圆台或圆柱二维光栅的正交偏振分束器

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