申请/专利权人：东京毅力科创株式会社

申请日：2020-05-15

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN113841227B

主分类号：H01L21/66

分类号：H01L21/66;H01L21/677

优先权：["20190528 JP 2019-099727"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2022.01.11#实质审查的生效;2021.12.24#公开

摘要：根据公开的一个方面的搬送系统包括移动式的盒单元，该盒单元能够容纳多个结构体，并且对检查单元供给所述结构体，其中，所述结构体具有：基板，形成有多个器件；以及线路部件，包括与所述多个器件的电极电接触的接触部。

主权项：1.一种搬送系统，包括移动式的多个盒单元，该盒单元能够容纳多个结构体，并且对检查单元供给所述结构体，其中，所述搬送系统包括：测位装置，对多个所述盒单元中的各个盒单元的位置进行测量；以及管理装置，基于由所述测位装置测量的多个所述盒单元的位置信息，对多个所述盒单元的动作进行控制，所述检查单元具有多个检查装置，所述结构体具有：基板，形成有多个器件；以及线路部件，包括与所述多个器件的电极电接触的接触部，所述盒单元是自动搬送车，所述管理装置基于多个所述盒单元的位置信息，对使哪个所述盒单元朝向所述检查装置进行确定。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东京毅力科创株式会社 搬送系统、检查系统及检查方法

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