申请/专利权人：浙江大学

申请日：2021-05-26

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN113380906B

主分类号：H01L31/0224

分类号：H01L31/0224;H01L31/108

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2021.09.28#实质审查的生效;2021.09.10#公开

摘要：本发明公开了一种基于金属‑半导体‑金属结构的透明紫外光电探测器，自下而上依次为透明基底、有源层和叉指电极；所述的有源层为透明的宽禁带半导体，禁带宽度大于3.1eV，厚度大于紫外光渗透深度；所述的叉指电极为超薄金属薄膜，厚度小于等于15nm，可见光‑近红外波段透射率大于70%；整个紫外光电探测器透明，可见光‑近红外波段透射率大于65%。本发明结构简单，易于加工，响应度高，响应速度快，具有良好柔韧性，具有应用于透明光电子器件和柔性可穿戴光电子器件领域的巨大潜力。

主权项：1.一种基于金属-半导体-金属结构的透明紫外光电探测器，其特征在于，自下而上依次为透明基底、有源层和叉指电极；所述的有源层为透明的宽禁带半导体氧化锌，禁带宽度大于3.1eV，厚度大于紫外光渗透深度；所述的叉指电极为超薄银膜，厚度为7nm，可见光-近红外波段透射率大于70%，对紫外光也有高透射率；整个紫外光电探测器透明，可见光-近红外波段透射率大于65%，具有高的光电响应度；所述的透明基底采用柔性材料，整个紫外光电探测器的弯曲半径小至7-10mm。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江大学 基于金属-半导体-金属结构的透明紫外光电探测器

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