申请/专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司

申请日：2021-03-10

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN113701058B

主分类号：F17D1/14

分类号：F17D1/14;F17D3/01;F04B49/00

优先权：["20200717 US 16/932,649"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2021.12.14#实质审查的生效;2021.11.26#公开

摘要：本发明实施例涉及用于供给化学溶液的系统与方法。一种系统包含化学品存储槽、管线、泵、第一静电探针及控制单元。所述管线连接到所述化学品存储槽。所述泵连接到所述管线且经配置以将化学溶液从所述化学品存储槽泵送到所述管线中。所述第一静电探针耦合到所述泵且经配置以测量所述泵的静电电压。所述控制单元耦合到所述第一静电探针且经配置以从所述第一静电探针获得静电电压的测量。

主权项：1.一种用于供给化学溶液的系统，其包括：化学品存储槽；管线，其连接到所述化学品存储槽；泵，其连接到所述管线且经配置以将化学溶液从所述化学品存储槽泵送到所述管线中；第一静电探针，其耦合到所述泵且经配置以测量所述泵的静电电压；及控制单元，其耦合到所述第一静电探针且经配置以从所述第一静电探针获得所述静电电压的所述测量，其中所述第一静电探针包含绝缘密封部分及由所述绝缘密封部分所围封的导电部分，所述导电部分的宽度小于所述绝缘密封部分的宽度，所述控制单元经配置以根据所述泵的所述静电电压的所述测量调整所述泵的至少一参数，所述参数包括流体马力、泵操作速度及频率。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 台湾积体电路制造股份有限公司 用于供给化学溶液的系统与方法

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