申请/专利权人：常州强力先端电子材料有限公司;常州强力电子新材料股份有限公司;常州强力光电材料有限公司

申请日：2022-03-14

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN115368286B

主分类号：C07D207/327

分类号：C07D207/327;C07D209/08;C07D213/57;C07D317/72;C07C323/63;C07D333/24;C07C303/00;C07C309/73;C07C309/65;C07C309/00;C07C303/28;G03F7/004

优先权：["20210519 CN 2021105609459"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2022.12.09#实质审查的生效;2022.11.22#公开

摘要：本发明公开一种感光度高，溶解性、热稳定性和化学稳定性更具优势的肟磺酸酯类光产酸剂，含有该光产酸剂的抗蚀剂组合物及其应用，所述肟磺酸酯类光产酸剂具有通式I所示结构。

主权项：1.一种肟磺酸酯类光产酸剂，具有如下通式I所示结构： 其中，R1表示C1-C8的直链状或支链状的烷基、C1-C8的直链状或支链状的全氟代烷基、全氟代苯基、被C1-C4的烷基或全氟代烷基取代的苯基、樟脑基、樟脑醌基或叠氮萘酮基团；R2可相同，也可不同，各自独立地选自下列基团：氢，C1-C8的直链状或支链状的烷基，C3-C8的环烷基，C2-C8的直链状或支链状的链烯基，C2-C8的直链状或支链状的炔基，C1-C8的直链状或支链状的烷氧基，C1-C8的直链状或支链状的烷硫基，被1个以上的-O-、-S-、-O-CO-或-CO-O-中断的C2-C7的直链状或支链状的烷基或烷氧基，苯基，被C1-C4的烷基或烷氧基取代的苯基，苯硫基，噻吩基，N-吡咯基，吡啶基，吲哚基；或者两个R2彼此相连以形成五元环或六元环；R3选自下列基团：氰基； 其中R4和R4’各自独立地表示H、-CH3，R5为C2-C8的直链状或支链状的烯基、C2-C8的直链状或支链状的炔基、C1-C10的直链状或支链状的烷基，或C1-C10的直链状或支链状的烷基中的-CH2-可以被-O-、-S-、-CO-、-COO-或-OCO-所取代形成的取代基； 其中X为CH2或C＝O，n为1-4的整数，其中的氢原子可以被C1-C8的直链或支链烷基所取代；桥环烷基，所述桥环烷基中的氢原子可以被C1-C8的直链或支链状的烷基、被1个以上的-O-CO-或-CO-O-中断的C2-C8的直链状或支链状的烷基所取代； 其中R6选自：C1-C8的直链或支链烷基，C1-C8的直链或支链烷基中的H部分或全部被卤原子所取代形成的取代基，被C6-C10的芳基取代的C1-C8烷基，C3-C10的环烷基，C6-C10的芳基，被C1-C8的烷氧基取代的C6-C10芳基，被C3-C10的环烷基取代的C1-C8烷基，C2-C10的直链状或支链状或环状的烯基，含有N、O和或S的C2-C6的杂芳基； 其中烯基中的H可以被C1-C4的烷基所取代，R7和R7’各自独立地表示：氢原子，C6-C10芳基，被C1-C8的烷氧基取代的C6-C10芳基，C1-C8的直链或支链烷基，或C1-C8的直链或支链烷基中的-CH2-被-O-所取代形成的取代基；或R7与相间的烯基碳原子成五元环或六元环； 其中R8选自：氢原子，C1-C8的直链或支链烷基，C1-C8的直链或支链烷基中的-CH2-被-COO-或-OCO-所取代形成的取代基，C6-C10芳基，C6～C10芳基的苯基中至少一个氢原子被C1～C8的直链状或支链状的烷基、C1～C8的直链状或支链状的烷氧基取代形成的取代基，含有N、O和或S的C4-C10的杂芳基，C3-C8的环烷基； 其中Ar选自：C6-C14芳基，C6～C20芳基的苯基中至少一个氢原子被C1～C8的直链状或支链状的烷基、C1～C8的直链状或支链状的烷氧基、C6～C10的芳基取代的C1～C4烷氧基取代形成的取代基。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 常州强力先端电子材料有限公司;常州强力电子新材料股份有限公司;常州强力光电材料有限公司 一种高产酸的肟磺酸酯类光产酸剂

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD