申请/专利权人：AMS国际有限公司

申请日：2020-04-02

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN114175683B

主分类号：H04R23/00

分类号：H04R23/00

优先权：["20190522 EP 19175935.6"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2022.03.29#实质审查的生效;2022.03.11#公开

摘要：一种用于测量膜片10的位移的集成式光学换能器1，包括膜片10、透镜元件23和衬底主体20，该衬底主体具有波导结构21和耦合元件22。膜片10远离衬底主体20并且基本平行于衬底主体20的主延伸平面设置。波导结构21配置成将光从光源30引导到耦合元件22，并且从耦合元件22引导到光电检测器31。耦合元件22被配置成将波导结构21中的光的至少一部分耦合到在耦合元件22与膜片10之间的光路上，并且将膜片10的表面反射的光从光路耦合到波导结构21中。透镜元件23设置在光路上，使得光路上的光穿过透镜元件23。

主权项：1.一种用于测量膜片10的位移的集成式光学换能器1，所述光学换能器1包括所述膜片10、透镜元件23和衬底主体20，所述衬底主体具有波导结构21和耦合元件22，其中，-所述膜片10远离所述衬底主体20设置；-所述膜片10平行或基本平行于所述衬底主体20的主延伸平面设置；-所述波导结构21配置成将光从光源30引导到所述耦合元件22，并且从所述耦合元件22引导到光电检测器31；-所述耦合元件22配置为分束器，以便将所述波导结构21中的光的一部分作为探测光束PB耦合到所述耦合元件22与所述膜片10之间的光路上，其中，所述波导结构21中的剩余光形成参考光束RB；-所述耦合元件22还配置为将探测光束PB的由所述膜片10的表面反射的光从所述光路耦合到所述波导结构21中，在所述波导结构21中，所述探测光束PB的由所述膜片10的表面反射的光与所述参考光束RB重新组合以形成定向到所述光电检测器31的组合的叠加光束CB；以及-所述透镜元件23设置在所述光路上，使得所述光路上的光穿过所述透镜元件23。

全文数据：

权利要求：

百度查询： AMS国际有限公司 用于测量位移的光学换能器及方法

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