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【发明授权】具有宽计量工艺窗口的棱镜耦合应力计_康宁股份有限公司_201980024806.5 

申请/专利权人:康宁股份有限公司

申请日:2019-04-01

公开(公告)日:2024-03-22

公开(公告)号:CN111954804B

主分类号:G01N21/43

分类号:G01N21/43;G01N33/38;G01N21/23

优先权:["20180402 US 62/651,442","20180629 US 62/692,233"]

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.03.22#授权;2021.03.26#实质审查的生效;2020.11.17#公开

摘要:棱镜耦合系统和方法包括使用棱镜耦合系统收集化学强化制品的初始TM和TE模式谱,所述化学强化制品具有折射率分布曲线,并且所述折射率分布曲线具有近表面的尖峰区域和深区域。检验初始TM和TE模式谱以观察它们是否落在优选测量窗口内,所述优选测量窗口可在选定容差内精确估算膝应力。如果未落在优选测量窗口内,则改变棱镜耦合系统的测量配置并且收集新的TM和TE模式谱。重复该过程直到新的TM和TE模式谱落在优选测量窗口内。接着使用该新的TM和TE模式谱来确定膝应力。改变测量配置可包括改变以下中的至少一项:测量波长,界面流体厚度和界面流体折射率。

主权项:1.一种估算化学强化制品中的膝应力的方法,所述化学强化制品具有折射率分布曲线,并且所述折射率分布曲线具有近表面的尖峰区域和深区域,它们限定了玻璃基基材中的光波导,所述方法包括:a使用以初始测量配置设置的棱镜耦合系统,收集化学强化制品的TM和TE模式谱;b检验TM和TE模式谱并发现它们未落在优选测量窗口内,所述优选测量窗口可在选定容差内精确估算膝应力;c一次或多次地改变棱镜耦合系统的测量配置并测量新的TM和TE模式谱直到新的TM和TE模式谱落在优选测量窗口内,其中,改变测量配置可包括改变以下中的至少一项:i棱镜耦合器系统的测量光的波长;ii用于在棱镜耦合器系统的耦合棱镜与光波导之间提供光学耦合的界面流体的厚度;和iii界面流体的折射率;以及d使用新的TM和TE模式谱来确定膝应力。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 康宁股份有限公司 具有宽计量工艺窗口的棱镜耦合应力计

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