申请/专利权人：ASML荷兰有限公司

申请日：2019-12-11

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN113424291B

主分类号：H01J37/20

分类号：H01J37/20

优先权：["20181220 EP 18214915.3"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2021.10.12#实质审查的生效;2021.09.21#公开

摘要：本发明涉及一种平台装置，包括载物台，该载物台被配置为保持衬底，该载物台包括被配置为由电源充电的电极以及被配置为将电极电连接到电源的电连接；以及电场屏蔽，该电场屏蔽被配置为屏蔽电连接的至少一部分。

主权项：1.一种平台装置，包括：载物台，被配置为保持衬底，所述载物台包括被配置为由电源充电的电极以及被配置为将所述电极电连接到所述电源的电连接；电场屏蔽，被配置为屏蔽所述电连接的至少一部分；以及定位器，所述定位器包括第一定位模块和第二定位模块，其中所述第一定位模块被配置为定位所述载物台，以及所述第二定位模块被配置为定位所述载物台和所述第一定位模块；所述电场屏蔽被布置在所述电连接与所述第二定位模块的一部分之间，并且其中所述电极被所述电源施加第三电压，并且所述第二定位模块的所述一部分处于第四电压，所述第四电压与所述第三电压不同。

全文数据：

权利要求：

百度查询： ASML荷兰有限公司 平台装置

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