申请/专利权人：江苏晋誉达半导体股份有限公司

申请日：2020-11-18

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN112229114B

主分类号：F25B45/00

分类号：F25B45/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2021.02.02#实质审查的生效;2021.01.15#公开

摘要：本发明公开了一种光刻机空调氟利昂的自动补给装置，包括箱体，所述箱体的内部设置有氟利昂储罐，氟利昂储罐的出口连接有补给管路，所述补给管路的一端伸出箱体外部且设置与光刻机空调的补给口进行快速对接的快速接头；所述补给管路上设置有电磁阀、压力传感器和单向阀，所述箱体内设置有与电磁阀和压力传感器导电连接的控制器和给控制器供电的电源，所述光刻机空调的氟利昂管道上的测压传感器与所述控制器导电连接。另外本发明还公开了使用该自动补给装置的自动补给方法，该自动补给方法和装置可以根据空调的氟利昂管道的压力自动补给氟利昂。

主权项：1.一种光刻机空调氟利昂的自动补给方法，其特征在于：该自动补给方法使用了光刻机空调氟利昂的自动补给装置，该自动补给方法根据氟利昂管道上的测压传感器测试的内部压力作为自动补给的依据；A、当氟利昂管道内部压力低于补给临界值时，控制器控制补给管路上的电磁阀打开，氟利昂储罐内的氟利昂通过补给管路给氟利昂管道补给；B、当氟利昂管道上的测压传感器检测其内部压力达到指定压力值，控制器控制电磁阀关闭停止补给；C、当在A工作状态下时补给管道上的压力传感器检测检测补给管道上的压力低于供应临界值时，控制器关闭电磁阀并提示更换氟利昂储罐；D、当在A工作状态下时测压传感器检测其内部压力上升的速率低于最低升压速率时，控制器控制电磁阀关闭，同时提示光刻机空调泄漏严重，其中，上述的光刻机空调氟利昂的自动补给装置，包括箱体，所述箱体的内部设置有氟利昂储罐，氟利昂储罐的出口连接有补给管路，所述补给管路的一端伸出箱体外部且设置与光刻机空调的补给口进行快速对接的快速接头；所述补给管路上设置有电磁阀、压力传感器和单向阀，所述箱体内设置有与电磁阀和压力传感器导电连接的控制器和给控制器供电的电源，所述光刻机空调的氟利昂管道上的测压传感器与所述控制器导电连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏晋誉达半导体股份有限公司 光刻机空调氟利昂的自动补给装置及自动补给方法

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