申请/专利权人：中芯先锋集成电路制造(绍兴)有限公司

申请日：2023-08-18

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220651058U

主分类号：G03F7/16

分类号：G03F7/16;H01L21/67;B05C11/10

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本实用新型涉及半导体制造技术领域，提供了一种涂胶补液装置，包括：储胶单元、缓冲单元以及抽吸单元；所述储胶单元用于存储胶体；所述缓冲单元的内腔与所述储胶单元的内腔连通，所述缓冲单元用于接收由所述储胶单元输送的胶体；所述抽吸单元用于抽吸所述缓冲单元内的胶体并将所述胶体输送至指定位置。如此配置，本是实用新型中，在储胶单元和抽吸单元之间增加了缓冲单元，缓冲单元可以灵活的布置，例如与抽吸单元背靠背布置，则可以有效减小缓冲单元与抽吸单元之间的距离，则利于缩短涂胶过程中的光刻胶的流动距离，进而减少涂胶过程的补液时间，有助于以提高机台产能，同时也有助于降低生产成本。

主权项：1.一种涂胶补液装置，其特征在于，包括：储胶单元、缓冲单元以及抽吸单元；所述储胶单元用于存储胶体；所述缓冲单元的内腔与所述储胶单元的内腔连通，所述缓冲单元用于接收由所述储胶单元输送的胶体；所述抽吸单元用于抽吸所述缓冲单元内的胶体并将所述胶体输送至指定位置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中芯先锋集成电路制造(绍兴)有限公司 涂胶补液装置

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