申请/专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司

申请日：2023-03-29

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220633426U

主分类号：B01D46/00

分类号：B01D46/00;B01D46/44;B08B5/02;F24H3/04;F24H9/1854;F24H9/1863

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本实用新型提供一种用于靶材生产的过滤气枪装置，所述用于靶材生产的过滤气枪装置包括气枪主体和设置在气枪主体头部的第一过滤装置；所述气枪主体的尾部连接输气管道；所述输气管道上设置有第二过滤装置。本实用新型所述的用于靶材生产的过滤气枪装置通过设置两组过滤装置，实现了各工序加工靶材过程所需气体干净清洁，不会因气体污染造成产品返工，适合大范围推广应用。

主权项：1.一种用于靶材生产的过滤气枪装置，其特征在于，所述用于靶材生产的过滤气枪装置包括气枪主体和设置在气枪主体头部的第一过滤装置；所述气枪主体的尾部连接输气管道；所述输气管道上设置有第二过滤装置；所述气枪主体内设置有加热装置；所述第二过滤装置设置在距离气枪主体的尾部15～25cm处；所述第二过滤装置的数量为1～3个；所述气枪主体上设置有压力监测装置；所述输气管道包括伸缩气管；所述用于靶材生产的过滤气枪装置还包括气体储存装置；所述气体储存装置经输气管道与气枪主体相连。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 宁波江丰电子材料股份有限公司 一种用于靶材生产的过滤气枪装置

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