申请/专利权人：宁波芯丰精密科技有限公司

申请日：2023-08-28

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220651996U

主分类号：H01L21/687

分类号：H01L21/687;H01L21/67;F26B11/18;F26B25/18;F26B5/08

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本实用新型属于晶圆甩干技术领域，公开了晶圆安装结构及晶圆甩干装置，晶圆安装结构包括支撑件和旋转件，旋转件，通过旋转轴转动连接于支撑件，旋转件能够随着晶圆载台的旋转而绕旋转轴转动，晶圆的高度低于旋转轴的高度，旋转件具有抵接位置，当旋转件位于抵接位置时，旋转件抵接于晶圆，且晶圆位于旋转件与晶圆载台之间，从而可通过旋转件将晶圆压在晶圆载台的上方，以完成晶圆的安装；当旋转件位于抵接位置时，旋转件的重心的高度低于旋转轴的高度，沿水平方向，旋转件的重心位于旋转轴靠近晶圆的一侧，在晶圆载台开始转动后，增大了施加于晶圆的力，且随着晶圆载台的转速增加，旋转件对晶圆施加的压力增大，从而将晶圆稳定安装于晶圆载台。

主权项：1.晶圆安装结构，用于将晶圆100安装在晶圆甩干装置的晶圆载台1的上方，且所述晶圆100平行于水平面放置，所述晶圆载台1能够沿自身中心线旋转，以带动所述晶圆100转动，并甩出所述晶圆100上的液态水；其特征在于，所述晶圆安装结构包括：支撑件2，固定设置于所述晶圆载台1；旋转件3，通过旋转轴4转动连接于所述支撑件2，所述旋转件3能够随着所述晶圆载台1的旋转而绕所述旋转轴4转动，所述晶圆100的高度低于所述旋转轴4的高度，所述旋转件3具有抵接位置，当所述旋转件3位于抵接位置时，所述旋转件3抵接于所述晶圆100，且所述晶圆100位于所述旋转件3与所述晶圆载台1之间，所述旋转件3的重心的高度低于所述旋转轴4的高度，沿水平方向，所述旋转件3的重心位于所述旋转轴4靠近所述晶圆100的一侧。

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权利要求：

百度查询： 宁波芯丰精密科技有限公司 晶圆安装结构及晶圆甩干装置

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