申请/专利权人：苏州镭明激光科技有限公司

申请日：2023-08-16

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220651976U

主分类号：H01L21/673

分类号：H01L21/673;H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本实用新型公开了一种晶圆载具组合，包括：机壳，具有安装腔，所述安装腔包括相对设置的第一敞开侧和第二敞开侧；第一放料抽屉，用于存放晶圆盒，且可抽拉地自所述第一敞开侧安装于所述安装腔内；以及，第二放料抽屉，用于承载晶圆，所述第二放料抽屉位于所述第一放料抽屉下方，且可抽拉地自所述第一敞开侧安装于所述安装腔内；其中，所述第二放料抽屉朝向所述第二敞开侧的一侧为敞开结构。本实用新型能够方便晶圆的集中存放和转运，且可选择地让机械手和或人工在放料抽屉取放晶圆。

主权项：1.一种晶圆载具组合，其特征在于，包括：机壳100，具有安装腔110，所述安装腔110包括相对设置的第一敞开侧111和第二敞开侧112；第一放料抽屉200，用于存放晶圆盒300，且可抽拉地自所述第一敞开侧111安装于所述安装腔110内；以及，第二放料抽屉400，用于承载晶圆500，所述第二放料抽屉400位于所述第一放料抽屉200下方，且可抽拉地自所述第一敞开侧111安装于所述安装腔110内；其中，所述第二放料抽屉400朝向所述第二敞开侧112的一侧为敞开结构。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州镭明激光科技有限公司 晶圆载具组合以及解胶设备

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