申请/专利权人：武汉颐光科技有限公司

申请日：2023-11-30

公开（公告）日：2024-03-26

公开（公告）号：CN117760608A

主分类号：G01L5/00

分类号：G01L5/00;G01N21/21

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.12#实质审查的生效;2024.03.26#公开

摘要：本发明提供一种微光斑透镜应力测量方法，包括：分别获取两片左臂微光斑透镜和两片右臂微光斑透镜，通过组合得到三组微光斑透镜组，每一组微光斑透镜组包括一片左臂微光斑透镜和一片右微光斑透镜；依次在直通式双旋转穆勒矩阵椭偏仪上安装每一组微光斑透镜组，并通过旋转每一组微光斑透镜组中右臂微光斑透镜，分别获取相位延迟量最大值和相位延迟量最小值；基于三组微光斑透镜组分别获取的相位延迟量最大值和相位延迟量最小值，计算两片左臂微光斑透镜和两片右臂微光斑透镜各自的相位延迟量。本发明可利用直通式双旋转穆勒矩阵椭偏仪测量透镜的应力，通过旋转椭偏仪右臂透镜找到所测应力的最大值和最小值，解析计算出单片透镜的应力值大小。

主权项：1.一种微光斑透镜应力测量方法，其特征在于，包括：分别获取两片左臂微光斑透镜和两片右臂微光斑透镜，通过组合得到三组微光斑透镜组，每一组所述微光斑透镜组包括一片左臂微光斑透镜和一片右微光斑透镜；依次在直通式双旋转穆勒矩阵椭偏仪上安装每一组微光斑透镜组，并通过旋转每一组微光斑透镜组中右臂微光斑透镜，分别获取相位延迟量最大值和相位延迟量最小值，其中，在直通式双旋转穆勒矩阵椭偏仪的左臂前端安装左臂微光斑透镜，在直通式双旋转穆勒矩阵椭偏仪的右臂前端安装右臂微光斑透镜；基于三组微光斑透镜组分别获取的相位延迟量最大值和相位延迟量最小值，计算两片左臂微光斑透镜和两片右臂微光斑透镜各自的相位延迟量，其中，每一片微光斑透镜的相位延迟量表征微光斑透镜的应力。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 武汉颐光科技有限公司 一种微光斑透镜应力测量方法

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