申请/专利权人：乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司

申请日：2022-07-05

公开（公告）日：2024-03-26

公开（公告）号：CN117769453A

主分类号：B01B1/06

分类号：B01B1/06;C23C16/448

优先权：["20210709 JP 2021-114451"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.12#实质审查的生效;2024.03.26#公开

摘要：提供了一种升华气体供应系统和升华气体供应方法，其中，即使当替换固体材料容器时，也不会降低升华气体的利用率。升华气体供应系统1具有：第一容器11；第一加热器12，加热第一容器11以产生升华气体；第一缓冲罐13，储存升华气体；稀释气体通道17，用于将稀释气体引入第二通道16中，该稀释气体通道连接到第二通道16中的第一连接器C1；用于控制流量的第一流量控制装置19，设置在第二通道上、在第一连接器C1与第一缓冲罐13之间；用于控制流量的第二流量控制装置21，设置在稀释气体通道上；以及混合容器22，设置在第二通道上，用于混合通过第一连接器C1汇集在一起的第一升华气体和稀释气体。

主权项：1.一种用于将固体材料升华气体供应到后续工艺的升华气体供应系统，其中，该升华气体供应系统具有：第一容器，容纳第一固体材料，第一加热器，加热所述第一容器以使得所述第一固体材料升华以产生第一升华气体，第一缓冲罐，储存升华气体，第一通道，将所述第一升华气体引入所述第一缓冲罐中，第二通道，用于将从所述第一缓冲罐输送的所述第一升华气体供应到后续工艺，稀释气体通道，连接到所述第二通道中的第一连接器，用于将稀释气体引入所述第二通道中，用于控制流量的第一流量控制装置，设置在所述第二通道上、在所述第一连接器与所述第一缓冲罐之间，用于控制流量的第二流量控制装置，设置在所述稀释气体通道上，以及混合容器，设置在所述第二通道上，用于混合通过所述第一连接器汇集在一起的所述稀释气体和所述第一升华气体。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司 具有缓冲罐的升华气体供应系统和升华气体供应方法

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