申请/专利权人：包头美科硅能源有限公司;云南美科新能源发展有限公司

申请日：2023-12-01

公开（公告）日：2024-03-26

公开（公告）号：CN117758362A

主分类号：C30B27/02

分类号：C30B27/02;C30B15/20;C30B29/06

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.12#实质审查的生效;2024.03.26#公开

摘要：本发明公开了一种双泵大氩气低炉压降氧的方法，包括将两个相同的干泵使用三通连接在一起，再共同连接至单晶炉上，由于单晶炉对炉内压力和气体流速的检测只能给出一个控制信号，因此将一个泵的节流阀开度设置为恒定，此为定频泵，另一个泵通过单晶炉反馈的控制信号，调整节流阀开度，维持炉内压力恒定在预设值，此为变频泵；将双泵的抽力提升为44000Lmin，增大氩气流量，降低炉压。本发明的优点是同时满足大氩气与低炉压的工艺，降低单晶硅棒的氧含量，提升晶棒品质，降低晶品差，提高成晶率。

主权项：1.一种双泵大氩气低炉压降氧的方法，具体步骤如下，其特征在于：（1）双泵连接：将两个相同的干泵使用三通连接在一起，再共同连接至单晶炉上，由于单晶炉对炉内压力和气体流速的检测只能给出一个控制信号，因此将一个泵的节流阀开度设置为恒定，此为定频泵，另一个泵通过单晶炉反馈的控制信号，调整节流阀开度，维持炉内压力恒定在预设值，此为变频泵；（2）氩气增大：将双泵的抽力提升为44000Lmin，增大氩气流量，增加单晶炉内气体流速，带走炉内产生的氧气，抑制炉内氧化反应的发生，降低硅单晶的氧化程度；（3）炉压降低：大抽力使得氩气增大的情况下恒定低炉压，炉压降低后减少炉内的气体分子数，从而减少气体分子与硅单晶表面的碰撞和摩擦，同时使硅单晶表面的原子间距减小，增强原子间的相互作用力，使硅单晶结构更加紧凑，减少缺陷和氧原子的引入。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 包头美科硅能源有限公司;云南美科新能源发展有限公司 一种双泵大氩气低炉压降氧的方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD