申请/专利权人：南京深光科技有限公司

申请日：2020-12-31

公开（公告）日：2024-03-26

公开（公告）号：CN112764310B

主分类号：G03F1/82

分类号：G03F1/82;B08B3/12;B08B13/00;F26B21/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.26#授权;2021.07.23#实质审查的生效;2021.05.07#公开

摘要：本发明公开了一种柔性AMOLED掩模版的清洗装置，包括机壳，所述机壳的内壁固定安装有固定装置，所述固定装置的内部包括伸缩杆，所述伸缩杆远离机壳的一端设置有活动连板，所述活动连板的内壁与伸缩杆的外壁活动连接，所述活动连板远离伸缩杆的一端固定安装有限位块，所述限位块的内部设置有旋转轴，所述旋转轴的外壁与限位块的内壁活动连接，所述旋转轴的外壁固定安装有安装凹台，所述安装凹台的内部设置有控制轴，所述控制轴的两端与安装凹台的内壁活动连接，所述控制轴的外壁固定安装有固定杆一。通过固定装置能够对掩膜版进行固定，用于不同尺寸的掩膜版，旋转轴能够带动固定装置转动，进一步带动掩膜版转动，缩短药液浸泡时间，提高清洗效率。

主权项：1.一种柔性AMOLED掩模版的清洗装置，包括机壳1，其特征在于：所述机壳1的内壁固定安装有固定装置2，所述固定装置2的内部包括伸缩杆201，所述伸缩杆201远离机壳1的一端设置有活动连板202，所述活动连板202的内壁与伸缩杆201的外壁活动连接，所述活动连板202远离伸缩杆201的一端固定安装有限位块203，所述限位块203的内部设置有旋转轴204，所述旋转轴204的外壁与限位块203的内壁活动连接，所述旋转轴204的外壁固定安装有安装凹台205，所述安装凹台205的内部设置有控制轴206，所述控制轴206的两端与安装凹台205的内壁活动连接，所述控制轴206的外壁固定安装有固定杆一207，所述固定杆一207的外壁固定安装有限位边板一；所述限位边板一的内壁活动安装有调节轴，所述调节轴的外壁固定安装有固定杆二208，所述固定杆二208的外壁固定连接有限位边板二，所述固定杆二208的底部设置有斜拉弹簧209，所述斜拉弹簧209的一端与固定杆二208的外壁固定连接，所述限位边板一的内部设置有压紧螺杆210，所述压紧螺杆210的外壁与限位边板一的内壁螺纹连接，所述压紧螺杆210的底部固定安装有压紧脚211；所述机壳1的底部设置有底座3，所述底座3的顶部与机壳1的底部固定连接，所述底座3的内壁固定安装有超声波发生装置4；所述机壳1的内壁固定安装有滑动导轨8，所述滑动导轨8的内壁活动连接有输送装置9，所述输送装置9的内部包括滑块901，所述滑块901的外壁设置有连接块902，所述连接块902的一端与滑块901的外壁固定连接；所述连接块902的另一端设置有摆动柱903，所述摆动柱903的一端与连接块902的内壁活动连接，所述摆动柱903的外壁固定安装有调节板904，所述调节板904的内壁活动安装有调节块905，所述调节块905远离调节板904的一端固定安装有真空吸盘906。

全文数据：

权利要求：

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