申请/专利权人：村田机械株式会社

申请日：2019-03-22

公开（公告）日：2024-03-26

公开（公告）号：CN112262465B

主分类号：H01L21/673

分类号：H01L21/673;B65G1/14

优先权：["20180615 JP 2018-114816"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.26#授权;2021.02.09#实质审查的生效;2021.01.22#公开

摘要：保管架1具备主体框架10和经由弹性体9安装于主体框架10的搁板20，用于对收纳被收纳物的FOUP进行保管，其中，该保管架1具备：供给喷嘴31，该供给喷嘴设置于搁板20，向FOUP供给气体；和供给管33，该供给管33具有与供给喷嘴31连通的一端33a和与主管50连通的另一端33b，该主管50支承于主体框架10，并且与向FOUP供给的气体的供给源连接。供给管33在从一端33a到另一端33b之间的至少一部分具备具有挠性的挠性部。

主权项：1.一种保管架，其具备主体框架和板状的搁板，所述主体框架具有板状的基座部件，所述搁板经由弹性体安装于所述基座部件，该保管架用于对收纳被收纳物的容器进行保管，其中，该保管架具备：供给喷嘴，该供给喷嘴设置于所述搁板，向所述容器供给气体；和供给管，该供给管具有与所述供给喷嘴连通的一端和与主管连通的另一端，该主管由与所述搁板分体的支承部支承，并且与向所述容器供给的气体的供给源连接，所述供给管在从所述一端到所述另一端之间的至少一部分具备具有挠性的挠性部，并配置于在板状的所述基座部件与板状的所述搁板之间形成的空间，所述搁板在俯视时具有矩形形状，所述供给喷嘴配置于所述搁板的一个角部，所述供给管的另一端配置于所述搁板的相当于一个角部的对角的另一角部，所述供给管具有将所述一端与所述另一端连接的曲线部，所述曲线部配置于在所述基座部件与所述搁板之间形成的空间。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 村田机械株式会社 保管架

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