申请/专利权人：北京朗菲霖科技研发有限公司

申请日：2021-02-08

公开（公告）日：2024-03-26

公开（公告）号：CN112992651B

主分类号：H01K3/24

分类号：H01K3/24

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.26#授权;2021.07.06#实质审查的生效;2021.06.18#公开

摘要：本发明公开了一种球茎形闪烁氙灯排气装置，包括涡轮干式泵，涡轮干式泵的进气口通过第一导管与冷凝泵的排气口固定连通，第一导管的中部固定安装有电动超高真空阀门，冷凝泵的入气口固定连通有第二导管，本发明一种球茎形闪烁氙灯排气装置，通过涡轮干式泵和冷凝泵，涡轮干式泵作为真空装置的前置低真空泵，冷凝泵作为后置高真空泵，装置本底真空度可达到5×10‑7Pa，排气过程不会产生油杂质，超高真空，无需前级泵不用反复循环启动；通过灯壳加热机构，同时可对各工位氙灯灯壳单独加热并控温，每个工位采用独立的加热炉，并独立测温控温，可使每个工位氙灯的灯壳加热过程中温度一致。

主权项：1.一种球茎形闪烁氙灯排气装置，包括涡轮干式泵1，其特征在于：所述涡轮干式泵1的进气口通过第一导管与冷凝泵2的排气口固定连通，所述第一导管的中部固定安装有电动超高真空阀门8，所述冷凝泵2的入气口固定连通有第二导管，所述第二导管的中部固定安装有手柄式超高真空阀门9，所述冷凝泵2的一侧固定安装有冷凝泵真空计19，所述冷凝泵2的底部与冷凝泵压缩机3的输出端固定连通，所述冷凝泵压缩机3的输入端通过第三导管固定连通有液氦循环机4，所述涡轮干式泵1的出气口固定连通有第四导管，所述第四导管的中部固定安装有第一超高真空阀门7，所述第二导管的一端和第四导管的一端分别与真空装置主管路5底部的一端和底部的中心固定连通，所述真空装置主管路5底部的另一端固定连通有第五导管，所述第五导管的中部固定安装有放气阀10，所述真空装置主管路5的顶部固定连通有若干个第六导管，若干个所述第六导管的一端均固定安装有充气真空计18，若干个所述第六导管的另一端均固定连通有氙灯20，若干个所述氙灯20的底部均卡合安装有灯壳加热机构21，若干个所述氙灯20的表面均套设有高频去气机构22，若干个所述第六导管与真空装置主管路5连接处的一端均固定连接有液氮容器23，若干个所述第六导管的顶端均与第七导管的底部固定连通，所述第七导管的一端固定连通有氙气瓶6，所述第七导管的中部固定安装有减压阀11、针阀12和真空截止阀13。

全文数据：

权利要求：

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