申请/专利权人：重庆大学

申请日：2023-12-31

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117782409A

主分类号：G01L9/12

分类号：G01L9/12

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：本发明公开了一种高灵敏度宽量程的层叠式压容传感器，包括上表面电极层以及下表面电极层；所述上表面电极层与下表面电极层之间设置有多层梯度压容传感层；所述多层梯度压容传感层包括第一梯度压容传感层、第二梯度压容传感层、…、第n梯度压容传感层；所述多层梯度压容传感层中相邻梯度压容传感层之间设置有夹层间电极；所述多层梯度压容传感层的灵敏度，从第一梯度压容传感层开始依次递减；所述多层梯度压容传感层的检测范围，从第一梯度压容传感层开始依次递增。本发明既能满足小压力时的高灵敏度检测，又满足了大压力下需要的更大检测范围，做到了灵敏度可调的同时也增大了检测范围。

主权项：1.一种高灵敏度宽量程的层叠式压容传感器，其特征在于：包括上表面电极层以及下表面电极层；所述上表面电极层与下表面电极层之间设置有多层梯度压容传感层；所述多层梯度压容传感层包括第一梯度压容传感层、第二梯度压容传感层、…、第n梯度压容传感层；所述多层梯度压容传感层中相邻梯度压容传感层之间设置有夹层间电极；所述多层梯度压容传感层的灵敏度，从第一梯度压容传感层开始依次递减；所述多层梯度压容传感层的检测范围，从第一梯度压容传感层开始依次递增。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 重庆大学 高灵敏度宽量程的层叠式压容传感器

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