申请/专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所

申请日：2023-12-27

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117773659A

主分类号：B24B1/00

分类号：B24B1/00;B24B13/00;B24B49/00;B24B51/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：一种工业机器人超精密抛光震颤式波纹误差抑制方法，包括：首先采集测量待使用工具的去除函数，再根据采集得到的去除函数频谱特征确定加工路径步距，然后根据预定步距路径，结合激光干涉仪测量得到的待加工元件的面形误差计算驻留时间分布并生成加工程序文件；随后根据加工文件及路径步距确定震颤周期，再根据设置震颤周期对加工程序进行插值并修改z值实现震颤式程序生成；最后使用具有周期震颤的程序对待加工元件进行加工。本发明无需对传统机器人小工具加工装备新增力控等附加模块，仅通过对驻留时间分布赋予周期性振动震颤，即可抑制机器人周期性波纹误差的产生，且不影响元件低频误差和高频误差，这对工业机器人抛光设备的精度提升及成本降低有着重要意义。

主权项：1.一种工业机器人超精密抛光震颤式波纹误差抑制方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1.根据待加工元件的面形误差分布Ex,y和去除函数TIF，生成加工程序文件，该加工程序文件为点集序列，第i点坐标为xi,yi,zi,rxi,ryi,vi，其中，rx为相对x轴方向旋转角度，ry为相对y轴方向旋转角度，v为速度；步骤S2.确定震颤周期t，公式如下： 式中，m为衰减常数，RMSEx,y为面形误差的rms值，为去除函数的傅里叶变换对应频率f处的值；Mid-spatialfrequencyMSF表示中频误差，RMSMSF为面形中频误差的rms值；步骤S3.根据所述震颤周期t对所述加工程序文件进行插值，即以震颤周期t的一半作为实际点距对所述加工程序文件通过线性插值法进行加密，得到加密后的点集序列；步骤S4.对加密后的点集序列中zi值进行奇偶项调整，生成周期震颤的加工程序文件，公式如下： 式中，A为震颤幅值，取0.3～2mm；步骤S5.根据所述周期震颤的加工程序文件对待加工元件进行加工。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院上海光学精密机械研究所 一种工业机器人超精密抛光震颤式波纹误差抑制方法

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