申请/专利权人：中科院南京天文仪器有限公司;中国科学院紫金山天文台

申请日：2023-12-28

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117781933A

主分类号：G01B11/24

分类号：G01B11/24

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：本发明公开了一种通用型大口径凸面镜面形检测方法及装置，所述检测方法包括：选用平凸高次非球面透镜作为中继镜，将中继镜插在凸面镜与干涉仪之间，调节间距，使被测凸球面的球心与所述中继镜的一个无像差点重合，所述无像差点与凸面镜位于中继镜的同一侧，使光源射出的发散光线经中继镜的折射后汇聚照射在凸面镜的被测凸球面上，被所述被测凸球面自准直反射回到干涉仪中，形成实施光学干涉测量的检测光路。本发明在无像差点成像理论基础上应用中继共轭光路，把凸球面反射的发散光转换为汇聚光，形成自准直光路返回干涉仪，可实现对不同参数大口径凸球面面形的高精度检测，提高了测量的通用性，且相较于传统的补偿检测，可降低实施成本。

主权项：1.一种通用型大口径凸面镜面形检测方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、准备中继镜2，所述中继镜2选用平凸高次非球面透镜，所述平凸高次非球面透镜的平面侧和凸弧非球面侧均存在一无像差点；S2、将凸面镜3的被测凸球面朝向干涉仪1的光源，将所述中继镜2插在凸面镜3与干涉仪1之间，控制凸面镜3和中继镜2的中轴线与光源中心点处在同一直线上；S3、调节干涉仪1、中继镜2和凸面镜3的间距，使被测凸球面的球心与所述中继镜2的一个无像差点重合，该无像差点与凸面镜3位于中继镜2的同一侧，光源射出的发散光线经中继镜2的折射后汇聚照射在凸面镜3的被测凸球面上，被所述被测凸球面自准直反射回到干涉仪1中，形成检测光路。

全文数据：

权利要求：

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